一,仪器概述

　　广州标准试验探针利用聚焦得非常细微米-纳米级的高能电子束轰击样品,激发出各种被测物质的有用信息如特征X射线,二次电子,背散射电子等,通过分析这些有用信息达到对样品微区成分分析和形貌观察的目的.

　　试验探针与扫描电镜的结构大致相似,不同的是电子探针有一套完整的X射线波长和能量探测装置波谱仪WDS和能谱仪EDS,用来探测电子束轰击样品所激发的特征X射线.由于特征X射线的能量或波长随着原子序数的不同而不同,只要探测入射电子在样品中激发出的特征X射线波长或能量,就可获得样品中所含的元素种类和含量,以此对样品微区成分进行定量分析是电子探针大的特点.

　　分析测试中心已安装的电子探针是日本岛津公司生产的EPMA-1600型新产品,它不仅具有较高的X射线检出角,同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体,能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率,并配有高稳定的电子光学系统,真空系统及高精度机械系统以及牛津公司生产的INCA X-act电制冷能谱仪,是目前山东区的微区成分定性定量分析和形貌观察用大型精密科研仪器之一.

　　二,仪器用途

　　适用于材料合金,陶瓷,半导体材料等,矿物,冶金,机械,微电子等领域的微区化学组成定性和定量分析,微区化学组成线分析,微区化学组成面分析以及各类固体产品的微区形貌观察与成分分布图像等,是对试样表面形貌观察,微区组织结构和元素定性定量分析的有效,原位表征手段.

　　三,仪器的性能与特点

　　1,具有较高的X-射线检出角52.5,有利于提高仪器空间分辨率和凸凹样品分析观察的可靠性;分光晶体采用Johanson型全聚焦分光晶体,同一道波谱仪兼顾高分辨率和高灵敏度.

　　2,分析精度:好于1%主要元素,含量5%和5%次要元素,含量～1%;谱仪检测极限:大于10ppm.

　　3,分析元素范围:4Be-92U;加速电压:0.2-30kV可调步长≤0.5kV;二次电子像分辨率:6nm;放大倍数:50-300000,连续可调有效图像观察倍数≤50000.

　　4,电子束流稳定性:好于1.510-3h;电子束流:10-12–10-5A,连续可调,准确值好于10%.

　　5,样品台小移动间距为0.02微米,重复精度好于1m,机械系统精密度高.

　　6,可观察二次电子像SEI,高分辨,低分辨模式,背散射电子像BEI,凸凹像,透射电子像适合医学,生物样品,吸收电子像,光学显微像,特征X射线线面分布像等,兼具微区成分定性定量分析和表面形貌观察等多项功能.

　　7,配置四道波谱仪LiFADP,LiFPET,RAPLSA70,PbSTLSA200,大限度保证主元素分析精度外,还可满足轻元素Be,B,C,N,O,F等成分的精确测试.还配备了牛津公司INCA X-act电制冷能谱仪,对表面粗糙样品可快速进行全元素定性半定量分析和形貌观察,操作简便可靠.